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首頁(yè) > 技術(shù)文章
  • 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x樣品制備與測(cè)試流程
    2026-4-8 94
    光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x主要利用光干涉原理對(duì)各類薄膜厚度進(jìn)行非接觸式檢測(cè),樣品制備規(guī)范與否、測(cè)試流程是否標(biāo)準(zhǔn),直接決定測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性與重復(fù)性。一、樣品制備要求樣品表面處理樣品表面應(yīng)保持清潔、干燥、無(wú)油污、無(wú)指紋、無(wú)灰塵,避免雜質(zhì)影響光反射與干涉信號(hào)。可用無(wú)塵布蘸取無(wú)水乙醇輕輕擦拭,自然晾干后再進(jìn)行測(cè)試。表面平整度要求被測(cè)區(qū)域應(yīng)平整光滑,無(wú)明顯劃痕、凸起、針孔或脫落,局部凹凸過大會(huì)導(dǎo)致光路偏移,造成讀數(shù)偏差。基底與邊緣要求盡量選擇無(wú)翹曲、無(wú)變形的樣品,測(cè)試點(diǎn)避開邊緣崩邊、裂紋及破損區(qū)域...

  • 四探針電阻率測(cè)量?jī)x用途、工作原理及使用注意事項(xiàng)
    2026-4-4 62
    四探針電阻率測(cè)量?jī)x是一種用于測(cè)量各類材料電阻率的精密檢測(cè)設(shè)備,核心由四探針探頭、信號(hào)處理模塊、顯示控制單元組成,采用四探針測(cè)量法規(guī)避接觸電阻干擾,檢測(cè)精度高、操作便捷。該設(shè)備可適配半導(dǎo)體、金屬、電解質(zhì)等多種材料的電阻率檢測(cè),廣泛應(yīng)用于科研、生產(chǎn)等場(chǎng)景,是材料性能檢測(cè)中的重要設(shè)備,正確使用和規(guī)范維護(hù)能保障檢測(cè)結(jié)果的可靠性和設(shè)備使用壽命。電阻率是材料的核心物理特性之一,直接反映材料的導(dǎo)電能力,其測(cè)量結(jié)果對(duì)材料研發(fā)、產(chǎn)品質(zhì)量管控具有重要意義。四探針電阻率測(cè)量?jī)x憑借獨(dú)特的測(cè)量方式,有...

  • XRF鍍層測(cè)厚儀選型要點(diǎn)總結(jié)
    2026-3-9 186
    XRF鍍層測(cè)厚儀作為無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域的核心設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、五金、電鍍、汽車等行業(yè),用于精準(zhǔn)測(cè)量金屬、非金屬鍍層的厚度,其選型的合理性直接決定測(cè)量精度、使用效率及適配性。為幫助用戶避開選型誤區(qū),精準(zhǔn)匹配實(shí)際檢測(cè)需求,結(jié)合XRF鍍層測(cè)厚儀的技術(shù)特性,總結(jié)以下核心選型要點(diǎn),兼顧實(shí)用性與專業(yè)性。一、明確檢測(cè)核心需求選型的前提是清晰界定自身檢測(cè)需求,避免盲目追求高配置造成成本浪費(fèi),也防止配置不足無(wú)法滿足檢測(cè)要求,核心關(guān)注3點(diǎn):鍍層類型與材質(zhì):明確被測(cè)鍍層是單一鍍層(如鎳層、鉻層、金層...

  • 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的用途、工作原理與使用注意事項(xiàng)
    2026-3-2 148
    光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x是一種非接觸、無(wú)損檢測(cè)薄膜厚度的精密儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光學(xué)鍍膜、光伏及精密制造等行業(yè)。它通過分析光與薄膜表面相互作用產(chǎn)生的干涉或反射信號(hào),快速獲取單層或多層薄膜的厚度、折射率等參數(shù),為工藝控制和質(zhì)量檢驗(yàn)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。以下從用途、工作原理和使用注意事項(xiàng)三方面進(jìn)行介紹。一、主要用途光學(xué)鍍膜監(jiān)控:用于增透膜、反射膜、濾光片等光學(xué)元件鍍膜過程中的實(shí)時(shí)或離線厚度檢測(cè),確保光學(xué)性能達(dá)標(biāo)。半導(dǎo)體制造:測(cè)量光刻膠、氧化層(SiO?)、氮化硅(Si?N?)等薄...

  • 一文看懂KLA光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用與使用維護(hù)
    2026-2-5 145
    KLA光學(xué)輪廓儀是一類基于非接觸式光學(xué)技術(shù)的三維表面形貌測(cè)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、精密制造、材料科學(xué)及科研等領(lǐng)域。作為高精度表面計(jì)量工具,它能夠快速獲取樣品的三維形貌、粗糙度、臺(tái)階高度、體積、平面度等關(guān)鍵參數(shù),為工藝控制和質(zhì)量評(píng)估提供可靠數(shù)據(jù)支持。應(yīng)用領(lǐng)域在半導(dǎo)體制造中,KLA光學(xué)輪廓儀用于測(cè)量光刻膠厚度、刻蝕深度、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)后的表面平整度以及晶圓翹曲等;在先進(jìn)封裝領(lǐng)域,可檢測(cè)焊球高度、RDL線路形貌及TSV(硅通孔)結(jié)構(gòu);在MEMS器件研發(fā)中,用于表征...

  • KLA光學(xué)輪廓儀的表面形貌檢測(cè)應(yīng)用
    2026-1-23 313
    KLA光學(xué)輪廓儀是基于非接觸式光學(xué)干涉原理的高精度表面形貌檢測(cè)設(shè)備,具備納米級(jí)分辨率與三維成像能力,可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面粗糙度、臺(tái)階高度、微觀形貌的快速精準(zhǔn)分析,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、微電子、精密制造等領(lǐng)域。以下是其核心應(yīng)用場(chǎng)景與檢測(cè)要點(diǎn):一、半導(dǎo)體行業(yè)——芯片制程與器件檢測(cè)半導(dǎo)體領(lǐng)域是KLA光學(xué)輪廓儀的核心應(yīng)用場(chǎng)景,直接關(guān)系到芯片良率與性能穩(wěn)定性。晶圓表面形貌檢測(cè)檢測(cè)晶圓拋光后的表面粗糙度(Ra、Rq)與平整度,確保晶圓表面無(wú)劃痕、顆粒污染、凹陷等缺陷;同時(shí)可測(cè)量晶圓上光...

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